簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="矽薄膜"


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    矽薄膜沉積於自組裝單分子薄膜改質後之玻璃
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 張仕翰 指導教授: 戴龑
    • 中文摘要 本論文利用電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD) 沉積矽薄膜於自組裝單分子薄膜(SAM)改質後的玻璃基板,並使用AFM、SEM觀察矽薄膜的表面形態受到不同形式(長鏈、短鏈、環狀)自…
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